1. Miniaturized ati apẹrẹ ti o yọ kuro, rọrun pupọ lati gbe ati kọ
2. Ori wiwa laser ati ipele ọlọjẹ ayẹwo ti wa ni idapọ, eto naa jẹ iduroṣinṣin pupọ, ati kikọlu-kikọlu naa lagbara.
3. Ohun elo ti o wa ni wiwakọ ti o tọ, atunṣe titete isọdi laser jẹ rọrun pupọ
4. Atọka ẹyọkan naa n ṣakoso ayẹwo lati sunmọ iwadii naa ni inaro, ki ori abẹrẹ naa ti ṣayẹwo ni papẹndikula si apẹẹrẹ naa.
5. Ọna ifunni abẹrẹ ti o ni oye ti iṣakoso piezoelectric seramiki ti a ti n ṣakoso ẹrọ ti n ṣakoso ẹrọ n ṣe aabo fun iwadii ati apẹẹrẹ.
6. Ipo aifọwọyi aifọwọyi, ko si iwulo si idojukọ, akiyesi akoko gidi ati ipo ti agbegbe ayẹwo ayẹwo iwadii.
7. Ọna idadoro orisun omi, ọna ti o rọrun ati ti o wulo, ipa ti o dara
8. Aṣepọ scanner aiṣedeede atunṣe olumulo atunṣe, ijuwe nanometer ati deede wiwọn dara ju 98%
Awọn pato:
| Ipo iṣẹ | ipo ifọwọkan, ipo tẹ ni kia kia |
| Ipo yiyan | Iyapa/Agbofinro Lateran, titobi/Alakoso, Oofa/Agbofinro Itanna |
| ipa julọ.Oniranran ti tẹ | FZ agbara ti tẹ, RMS-Z ti tẹ |
| Iwọn ọlọjẹ XY | 20 * 20um, iyan 50 * 50um, 100 * 100um |
| Iwọn ọlọjẹ Z | 2.5um, iyan 5um, 10um |
| Ṣiṣayẹwo ipinnu | Petele 0.2nm, Inaro 0.05nm |
| Iwọn apẹẹrẹ | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Ayẹwo irin-ajo ipele | 15*15mm |
| Opitika akiyesi | 4X opitika ohun lẹnsi / 2.5um ipinnu |
| Iyara wíwo | 0.6Hz-30Hz |
| Igun ọlọjẹ | 0-360° |
| Ayika iṣẹ | Windows XP/7/8/10 ẹrọ |
| Ibaraẹnisọrọ Interface | USB2.0/3.0 |
| Apẹrẹ-gbigbọn-mọnamọna | Orisun ti daduro |
